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H1

新川のコア技術

3D-NRS技術

3D-NRS技術: (3次元無反動サーボシステム)

ボンディング精度を担保し、かつ、生産性を向上するためには駆動部における振動の相互干渉を抑える必要がある。高速でボンディングする二つのボンディングヘッドの振動を3D-NRS技術によって制御し、精度とともに高生産性を実現している。SPA-1000では、ボンディング精度XY±5 µm(3σ)、θ±0.05 °(3σ)であり、従来機の2倍のUPHを達成している。

対応機種

BIM (Bond inspection measurement)

BIM (Bond inspection measurement)

BIMは、ボンディング後の画像から、パッド中心に対するボンディング位置のズレ量をフィードバックし、ボンディング位置を補正する機能である。ボンディング時に考えられうる擾乱による位置ずれをリアルタイムに修正しボンディング精度の安定化を図る。

BIM (Bond inspection measurement)

対応機種

FAM (Free Air Ball Measurement)

FAM (Free Air Ball Measurement: イニシャルボール自動監視機能)

FAMは、ワイヤボンディングにおける、ボンディング中のFAB(Free Air Ball)径をモニタリングすると同時に、FAB径の異常をいち早く検知してFAB径を安定化させる新川の独自機能である。検出には、Reference positioning system(RPS:近日紹介予定)という、キャピラリ先端位置をモニタリングする機能を流用している。UTC-5000の高信頼性ボンディングを支える機能となっている。

FAM (Free Air Ball Measurement)

対応機種