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H1

新川のコア技術

3D-NRS技術

NRS:Non Reaction Servo System
(無反動サーボ制御システム)

ボンディング精度を確保し、且つ生産性を向上するためには駆動部における振動の相互干渉を抑える必要がある。高速でボンディングする二つのボンディングヘッドの振動をNRS技術によって制御し、精度とともに高生産性を実現している。SPA-1000では、ボンディング精度XY:±5 µm(3σ)、θ:±0.05 °(3σ)であり、従来機の2倍のUPHを達成している。SPA-1000のみならず、新川のコア技術として各種製品群に適用される。

対応機種

BIM (Bond inspection measurement)

BIM:Bond Inspection Measurement
(接合ボール位置検出機能)

BIMは、ボンディング後の画像からボンディング位置のずれ量を算出し、ボンディング位置を補正する機能である。ボンディング時の各種変動による位置ズレをリアルタイムに修正し、ボンディング精度の安定化を図る。

BIM (Bond inspection measurement)

対応機種

FAM (Free Air Ball Measurement)

FAM :Free Air ball Measurement
(初期ボール自動監視機能)

FAMは、ワイヤボンディングの初期ボール の径や形状をモニタリングすることにより、初期ボール形状を安定化させる新川の独自機能である。検出には、Reference Positioning System (RPS) という、キャピラリ先端位置を撮像する機能を活用している。UTC-5000シリーズの高信頼性ボンディングを支える機能となっている。

FAM (Free Air Ball Measurement)

対応機種