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ダイボンダ(STC-800)

ダイボンダ検索

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キーワード

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装置編

装置編

電源投入時のトラブル

装置が起動しない。

原因

ケーブルやコネクタは正しく接続されていますか?

対応方法

電源の供給およびケーブル・コネクタの接続を確認して、再度起動して下さい。
操作パネルが動作しない

原因

操作パネルのケーブルが正しく接続されていますか?

対応方法

操作パネルと制御基板を繋いでいるケーブルが接続されているか確認し、再起動して下さい。
原点復帰が出来ない

原因

ヒューズが断線していませんか?

対応方法

ヒューズを確認し、断線している場合は交換して下さい。
装置背面部 F3ヒューズ(DRIVE)

フレーム搬送のトラブル

フレームローダY、Z軸モータが動作しない。
原点復帰が出来ない。

原因

Y、Z軸モータのケーブルが正しく接続されていますか?

対応方法

Y、Z軸モータと制御基板を繋いでいるケーブルが正しく接続されているか確認して下さい。

原因

ヒューズが断線していませんか?

対応方法

ヒューズを確認し、断線している場合は交換して下さい。
BP X2ボード部 F1~F8ヒューズ

原因

原点センサが故障していませんか?

対応方法

I/Oチェックにて信号の有無を確認し、故障の場合は交換してください。
フレームスタッカのZ軸モータが動作しない。
原点復帰が出来ない。

原因

Z軸モータのケーブルが正しく接続されていますか?

対応方法

Z軸モータと制御基板を繋いでいるケーブルが正しく接続されているか確認して下さい。

原因

ヒューズが断線していませんか?

対応方法

ヒューズを確認し、断線している場合は交換して下さい。
BP X2ボード部 F1~F8ヒューズ

原因

原点センサが故障していませんか?

対応方法

I/Oチェックにて信号の有無を確認し、故障の場合は交換してください。
フィーダーのフレーム搬送左(右)ステージモータが動作しない。
原点復帰が出来ない。

原因

フレーム搬送左(右)ステージモータのケーブルが正しく接続されていますか?

対応方法

フレーム搬送左(右)ステージモータと制御基板を繋いでいるケーブルが正しく接続されているか確認して下さい。

原因

位置検出用のリニアセンサのケーブルが正しく接続されていますか?

対応方法

リニアスケールと制御基板を繋いでるケーブルが正しく接続されているか確認して下さい。
フィーダーの左(右)爪モータが動作しない。
原点復帰が出来ない。

原因

左(右)爪モータのケーブルが正しく接続されていますか?

対応方法

左(右)爪モータと制御基板を繋いでいるケーブルが正しく接続されているか確認して下さい。

原因

原点センサが故障していませんか?

対応方法

I/Oチェックにて信号の有無を確認し、故障の場合は交換してください。

原因

ヒューズが断線していませんか?

対応方法

ヒューズを確認し、断線している場合は交換して下さい。
BP X1ボード部 F1~F8ヒューズ
フィーダーのアウトプッシャモータが動作しない。
原点復帰が出来ない。

原因

アウトプッシャモータのケーブルが正しく接続されていますか?

対応方法

アウトプッシャモータと制御基板を繋いでいるケーブルが正しく接続されているか確認して下さい。

原因

原点センサが故障していませんか?

対応方法

I/Oチェックにて信号の有無を確認し、故障の場合は交換してください。

原因

ヒューズが断線していませんか?

対応方法

ヒューズを確認し、断線している場合は交換して下さい。
BP X1ボード部 F1~F8ヒューズ  
フィーダーのフレームクランパが動作しない。
原点復帰が出来ない。

原因

フレームクランパモータのケーブルが正しく接続されていますか?

対応方法

フレームクランパモータと制御基板を繋いでいるケーブルが正しく接続されているか確認して下さい。

原因

原点センサが故障していませんか?

対応方法

I/Oチェックにて信号の有無を確認し、故障の場合は交換してください。

原因

ヒューズが断線していませんか?

対応方法

ヒューズを確認し、断線している場合は交換して下さい。
BP X1ボード部 F1~F8ヒューズ     
フィーダーのヒータの温度が上昇しない

原因

ヒューズが断線していませんか?

対応方法

各ヒータに対応するヒューズを確認し、断線している場合は交換して下さい。
装置背面部
F7 250V 5A HEATER1
F8 250V 5A HEATER2
F9 250V 5A HEATER3
F10 250V 5A HEATER4                    

原因

ヒータまたはCA線(熱電対)に接続しているケーブルが正しく接続されていますか?

対応方法

ヒータまたはCA線と制御基板を繋いでいるケーブルが正しく接続されているか確認して下さい。

原因

CA線(熱電対)が故障していませんか?

対応方法

ヒータ温度を常温に設定し(25℃程度)、且つケーブルが正しく接続されていて、温度表示値が異常な場合、CA線の故障が考えられます。
CA線を交換して下さい。

原因

カートリッジヒータが故障していませんか?

対応方法

ヒータ温度を50℃程度に設定し、且つケーブルが正しく接続されていて、温度表示値の上昇が無い場合、カートリッジヒータの故障が考えられます。
カートリッジヒータを交換して下さい。
フレーム検出用Y軸モータが動作しない。
原点復帰が出来ない。

原因

フレーム検出用Y軸モータのケーブルが正しく接続されていますか?

対応方法

フレーム検出用Y軸モータと制御基板を繋いでいるケーブルが正しく接続されているか確認して下さい。

原因

原点センサが故障していませんか?

対応方法

I/Oチェックにて信号の有無を確認し、故障の場合は交換してください。
アンローダストッカのベルトモータが動作しない。

原因

ベルトモータのケーブルが正しく接続されていますか?

対応方法

ベルトモータと制御基板を繋いでいるケーブルが正しく接続されているか確認して下さい。

原因

ヒューズが断線していませんか?

対応方法

ヒューズを確認し、断線している場合は交換して下さい。
UL X1ボード部 F1,F2,F3,F5ヒューズ    
アンローダストッカのY、Z軸モータが動作しない。
原点復帰が出来ない。

原因

Y、Z軸モータのケーブルが正しく接続されていますか?

対応方法

Y,Z軸モータと制御基板を繋いでいるケーブルが正しく接続されているか確認して下さい。

原因

ヒューズが断線していませんか?

対応方法

ヒューズを確認し、断線している場合は交換して下さい。
UL X1ボード部 F1,F2,F3,F7,F8ヒューズ

原因

原点センサが故障していませんか?

対応方法

I/Oチェックにて信号の有無を確認し、故障の場合は交換してください。
アンローダストッカのマガジンクランプが動作しない。

原因

マガジンクランプモータのケーブルが正しく接続されていますか?

対応方法

マガジンクランプモータと制御基板を繋いでいるケーブルが正しく接続されているか確認して下さい。

原因

ヒューズが断線していませんか?

対応方法

ヒューズを確認し、断線している場合は交換して下さい。
UL X1ボード部 F1,F2,F3,F6ヒューズ

ウェハ搬送、ピックアップのトラブル

X,Y軸モータが動作しない。
原点復帰が出来ない。

原因

X,Y軸モータのケーブルが正しく接続されていますか?

対応方法

X,Y軸モータと制御基板を繋いでいるケーブルが正しく接続されているか確認して下さい。

原因

ヒューズが断線していませんか?

対応方法

ヒューズを確認し、断線している場合は交換して下さい。
JU部 F21(Y軸)、F22(X軸)ヒューズ      

原因

原点センサが故障していませんか?

対応方法

I/Oチェックにて信号の有無を確認し、故障の場合は交換してください。
突き上げ部Z軸モータが動作しない。 原点復帰が出来ない。

原因

Z軸モータのケーブルが正しく接続されていますか?

対応方法

Z軸モータと制御基板を繋いでいるケーブルが正しく接続されているか確認して下さい。

原因

原点センサが故障していませんか?

対応方法

I/Oチェックにて信号の有無を確認し、故障の場合は交換してください。
突き上げユニットが上下動作しない。

原因

上下動作用のソレノイドバルブのケーブルが正しく接続されていますか?

対応方法

ソレノイドバルブと制御基板を繋いでいるケーブルが接続されているかを確認して下さい。

原因

上下動作用のソレノイドバルブが故障していませんか?

対応方法

ケーブルが正しく接続されているにもかかわらず動作しない場合はソレノイドバルブの故障が考えられます。
ソレノイドバルブを交換して下さい。

原因

エアー、真空配管が正しく接続されていますか?

対応方法

エアー、真空配管の接続を確認してください。
破損の場合は交換してください。
吸着ステージの吸着およびブロー動作が不安定。

原因

吸着用のソレノイドバルブのケーブルが正しく接続されていますか?

対応方法

ソレノイドバルブと制御基板を繋いでいるケーブルが正しく接続されているか確認して下さい。 

原因

吸着用のソレノイドバルブが故障していませんか?

対応方法

ケーブルが正しく接続されているにもかかわらず安定しない場合は、ソレノイドバルブの故障が考えられます。
ソレノイドバルブを交換して下さい。

原因

エアー、真空配管が正しく接続されていますか?

対応方法

エアー、真空配管の接続を確認してください。
破損の場合は交換してください。

原因

吸着ステージが汚れていませんか? 

対応方法

取扱説明書に従って清掃してください。

プロセス編

プロセス編

ピックアップのトラブル

ウェーハからダイをピックアップ出来ない。

原因

コレット、突上げ針、吸着ステージの機械的調整が適正でない可能性があります。

対応方法

コレットの平坦度の調整をしてください。
突上げ針の高さの調整をしてください。
吸着ステージとコレットの中心が一致するように位置の調整をしてください。

原因

突き上げ部やコレットが汚れていませんか?

対応方法

突上げ針を交換してください。
コレットを交換してください。                            

原因

ピックアップパラメータが適切でない可能性があります。

対応方法

突上げスピードの調整をしてください。
突上げ針の突上げ量の調整をしてください。
ピックアップ荷重の調整をしてください。
ピックアップ沈み込み量の設定値を大きくしてください。
ピックアップZレベルの再登録をしてください。

原因

工場用力のバキュームの圧力が低下していませんか?

対応方法

バキュームの圧力を指定圧力値になる様に調整をしてください。
ダイ表面に傷が付く。

原因

コレットが汚れていませんか?

対応方法

コレットを交換してください。

原因

荷重設定が適正でない可能性があります。

対応方法

荷重の調整をしてください。
ダイの割れ欠けが発生する。

原因

コレット、突上げ針、吸着ステージの機械的調整が適正でない可能性があります。

対応方法

コレットの平坦度の調整をしてください。
突上げ針の高さの調整をしてください。
吸着ステージとコレットの中心が一致するように位置の調整をしてください。

原因

突き上げ部やコレットが汚れていませんか?

対応方法

突上げ針を交換してください。
コレットを交換してください。                                  

原因

ピックアップパラメータが適切でない可能性があります。

対応方法

突上げスピードの調整をしてください。
ピックアップZレベルの再登録をしてください。
荷重の調整をしてください。

ボンディングのトラブル

X、Y、Z、θ軸モータが動作しない。
原点復帰が出来ない。

原因

X、Y、Z、θ軸モータのケーブルが正しく接続されていますか?

対応方法

X、Y、Z、θ軸モータと制御基板を繋いでいるケーブルが正しく接続されているか確認して下さい。

原因

原点センサが故障していませんか?

対応方法

I/Oチェックにて信号の有無を確認し、故障の場合は交換してください。
タッチ検出センサが正常に動作しない。

原因

検出センサのケーブルが正しく接続されていますか?

対応方法

タッチ検出センサと制御基板を繋いでいるケーブルが正しく接続されているか確認して下さい。

原因

検出センサが正しい位置に取り付けられていますか?

対応方法

取扱説明書に従って、位置の再調整を行って下さい。
ダイ検出センサが正常に動作しない。

原因

検出センサのケーブルが正しく接続されていますか?

対応方法

ダイ検出センサと制御基板を繋いでいるケーブルが正しく接続されているか確認して下さい。

原因

検出センサの感度は正しく調整されていますか?

対応方法

取扱説明書に従って、感度の再調整を行って下さい。
ダイをリードフレームにボンディングできない。

原因

コレットが汚れていませんか?

対応方法

コレットを交換してください。

原因

ボンディングパラメータが適切でない可能性があります。

対応方法

ボンディングZレベルの再登録をしてください。
ボンディング沈み込み量の設定値を大きくしてください。
フィーダ設定温度値を高くしてください。
ダイの厚さを確認し、適正な値を入力してください。

原因

フレームが酸化していませんか?

対応方法

混合ガスの入力の確認をしてください。
混合ガスの流量の調整をしてください。
混合ガス配管の接続の確認をしてください。
混合ガス配管が破損している場合は交換してください。
θ曲がりが発生する。

原因

コレットが汚れていませんか?

対応方法

コレットを交換してください。

原因

コレット、突上げ針、吸着ステージの機械的調整が適正でない可能性があります。

対応方法

突上げ針の高さの調整をしてください。
吸着ステージとコレットの中心が一致するように位置の調整をしてください。

原因

工場用力のバキュームの圧力が低下していませんか?

対応方法

バキュームの圧力を指定圧力値になる様に調整をしてください。

原因

ボンディングパラメータが適切でない可能性があります。

対応方法

突上げスピードの調整をしてください。
ボンディングZレベルの再登録をしてください。
ピックアップ沈み込み量の設定値を大きくしてください。
荷重の調整をしてください。
ダイの厚さを確認し、適正な値を入力してください。
位置ズレが発生する。

原因

コレットが汚れていませんか?

対応方法

コレットを交換してください。

原因

コレット、突上げ針、吸着ステージの機械的調整が適正でない可能性があります。

対応方法

コレットの平坦度の調整をしてください。
突上げ針の高さの調整をしてください。
吸着ステージとコレットの中心が一致するように位置の調整をしてください。

原因

ボンディングパラメータが適切でない可能性があります。

対応方法

ピックアップ/ボンディングZレベルの再登録をしてください。
ピックアップ沈み込み量の設定値を大きくしてください。
荷重の調整をしてください。
ダイの厚さを確認し適正な値を入力してください。
ダイ検出前時間の調整をしてください。
フレーム検出前時間の調整をしてください。

原因

検出が適正でない可能性があります。

対応方法

チップ検出モデルの再登録をしてください。
フレーム検出モデルの再登録をしてください。                          
ボンド傾きが発生する。

原因

コレット、突上げ針、吸着ステージの機械的調整が適正でない可能性があります。

対応方法

コレットの平坦度の調整をしてください。
吸着ステージとコレットの中心が一致するように位置の調整をしてください。
ヒータに凹凸部がある場合は、フレームの搬送位置が合っているか確認し、合っていない場合は搬送位置の調整をしてください。

原因

コレットが汚れていませんか?

対応方法

コレットの清掃または交換してください。

原因

工場用力のバキュームの圧力が低下していませんか?

対応方法

バキュームの圧力を指定圧力値になる様に調整をしてください。

原因

ボンディングパラメータが適切でない可能性があります。

対応方法

ボンディングZレベルの再登録をしてください。
荷重の調整をしてください。
濡れ性が悪い。

原因

ボンディングパラメータが適切でない可能性があります。

対応方法

フィーダ温度設定を高くしてください。
コレット真空破壊ブローON時間の調整をしてください。
コレット真空OFF高さの調整をしてください。
ボンディング時間の設定値を大きくしてください。
荷重を大きくする方向で調整してください。
ボンディング沈み込み量の設定値を大きくしてください。
ダイの厚さを確認し適正な値を入力してください。
ボンディングZレベルを再登録をしてください。

原因

フレームが酸化していませんか?

対応方法

混合ガスの入力の確認をしてください。
混合ガスの流量を増やしてください。
混合ガス配管の接続の確認をしてください。
混合ガス配管が破損している場合は交換してください。

搬送のトラブル

フレームが酸化する。

原因

混合ガスの流量が不足していませんか?

対応方法

混合ガスの流量を増やしてください。

原因

混合ガス配管の接続が適正ではない、または破損していませんか?

対応方法

配管の接続を確認して下さい。
破損している場合は交換してください。
フレームに傷が発生する。

原因

フィーダーユニットの機械的な調整が適正でない可能性があります。

対応方法

フレームクランパの位置をの調整をしてください。
フレームクランパの清掃をしてください。
ローダ/アンローダ部とフレーム搬送レールの位置が平行となっているかの確認をし、合っていない場合は調整をしてください。
搬送爪とフレーム搬送レールの平行度と高さ位置の確認をし、合っていない場合は調整をしてください。
ガス蓋を外し干渉していないかの確認をし、干渉している場合はガス蓋の位置の調整をしてください。
過負荷エラーが頻発する。

原因

過負荷センサの閾値が適正でない可能性があります。

対応方法

過負荷センサの感度の再調整をしてください。

原因

フレーム搬送レールが汚れていませんか?

対応方法

フレーム搬送レールの清掃をしてください。
搬送精度が悪い。

原因

フレーム搬送レールが汚れていませんか?

対応方法

フレーム搬送レールの清掃をしてください。

原因

フレーム搬送穴に対し搬送爪の位置が適正でない可能性があります。

対応方法

搬送爪とフレーム搬送穴の位置を確認し、一致していない場合は搬送爪の位置の調整をしてください。

原因

搬送速度が速すぎませんか?

対応方法

搬送速度を遅くしてください。

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