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贴片机 (STC-800)

Q&A:検索

类别
关键词

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装置編

装置編

投入电源时的故障

设备未启动

原因

电线或接头是否连接良好?

对应方法

请确认电源供给以及电线及街头接头后,再次启动设备。
操作面板不动作

原因

操作面板的电线是否连接良好?

对应方法

请确认连接操作面板和控制基板的电线是否连接了后,再启动。
无法原点复位

原因

保险丝是否熔断?

对应方法

请确认保险丝,若熔断的情况请进行更换。
设备背面部 F3保险丝(DRIVE) 

框架传送的故障

Frame供给部Y、Z轴马达未动作。 无法原点复位。

原因

Y、Z轴马达的电线是否连接良好?

对应方法

请确认连接Y、Z轴马达与控制基板的电线是否正确地连接。 

原因

保险丝没有熔断吗?

对应方法

请确认保险丝,若熔断的情况请进行更换。
BP X2基板部 F1~F8保险丝 

原因

原点传感器没有故障吗?

对应方法

请通过I/O检查确认有无信号,若故障的情况请进行更换。 
Frame Magazine的供给部Z轴马达未动作。 无法原点复位。

原因

Z轴马达的电线是否连接良好?

对应方法

请确认连接Z轴马达与控制基板的电线是否正确地连接。

原因

保险丝没有熔断吗?

对应方法

请确认保险丝,若熔断的情况请进行更换。
BP X2基板部 F1~F8保险丝 

原因

原点传感器没有故障吗?

对应方法

请通过I/O检查确认有无信号,若故障的情况请进行更换。 
搬送部的框架传送左(右)Stage未动作。 无法原点复位。

原因

传送框架的马达接触是否良好。

对应方法

传送框架的马达和控制电路板的电线连接是否正确。

原因

检测位置用的线性传感器的电线是否正确地连接了?

对应方法

请确认连接线性马达和控制基板的电线是否正确地连接了。 
搬送部的左(右)爪马达未动作。 无法原点复位。

原因

搬送部(左/右)爪马达的电线是否正确地连接了?

对应方法

请确认搬送部(左/右)爪马达和控制基板的电线是否正确地连接了?

原因

原点传感器没有故障吗?

对应方法

请通过I/O检查确认有无信号,若故障的情况请进行更换。 

原因

保险丝没有熔断吗?

对应方法

请确认保险丝,若熔断的情况请进行更换。
BP X1基板部 F1~F8保险丝
搬送部的Out Pusher马达未动作。 无法原点复位。

原因

Out Pusher马达的电线是否连接正确?

对应方法

请确认连接Out Pusher马达和控制基板的电线是否正确地连接了?

原因

原点传感器没有故障吗?

对应方法

请通过I/O检查确认有无信号,若故障的情况请进行更换。

原因

保险丝没有熔断吗?

对应方法

请确认保险丝,若熔断的情况请进行更换。
BP X1基板部 F1~F8保险丝
搬送部的框架压板未动作。 无法原点复位。

原因

框架压板马达的电线连接了是否正确?

对应方法

框架压板马达和控制电路板的电线是否正确地连接了?

原因

原点传感器没有故障吗?

对应方法

请通过I/O检查确认有无信号,若故障的情况请进行更换。

原因

保险丝没有熔断吗?

对应方法

请确认保险丝,若熔断的情况请进行更换。
BP X1基板部 F1~F8保险丝
搬送部的加热温度未上升

原因

保险丝没有熔断吗?

对应方法

请确认各加热块对应的保险丝,若熔断的情况请进行更换。
设备背面部
F7 250V 5A HEATER1                                 
F8 250V 5A HEATER2                                  
F9 250V 5A HEATER3                                
F10 250V 5A HEATER4  

原因

连接加热块或CA线(热电偶)的电线连接是否正确?

对应方法

请确认连接加热块或CA线和控制基板的电线是否正确地连接了?

原因

CA线(热电偶)没有故障吗?

对应方法

若将加热温度设定为常温(25℃左右),且电线正确地连接了,温度显示值异常的情况,则认为是CA线的故障。 请更换CA线。

原因

圆型加热器没有故障吗?

对应方法

加热温度设定为50℃左右,且电线正确地连接,温度显示值没有上升的情况, 则认为是圆型加热器的故障。 请更换圆型加热器。
框架检出用Y轴马达未动作。 无法原点复位。

原因

框架检出用Y轴马达的电线连接是否正确?

对应方法

请确认连接框架检出用Y轴马达和控制基板的是否正确连接。

原因

原点传感器没有故障吗?

对应方法

请通过I/O检查确认有无信号,若故障的情况请进行更换。
下料部的皮带马达未动作。

原因

皮带马达的电线连接是否正确?

对应方法

请确认连接皮带马达和控制基板的电线是否正确地连接了。

原因

保险丝没有熔断吗?

对应方法

请确认保险丝,若熔断的情况请进行更换。
UL X1基板部 F1,F2,F3,F5保险丝
下料部的Y轴、Z轴马达未动作。 无法原点复位。

原因

Y轴、Z轴马达的电线连接是否正确?

对应方法

请确认连接Y轴、Z轴马达和控制基板的电线是否正确地连接了。

原因

保险丝没有熔断吗?

对应方法

请确认保险丝,若熔断的情况请进行更换。
UL X1基板部 F1,F2,F3,F7,F8保险丝

原因

原点传感器没有故障吗?

对应方法

请通过I/O检查确认有无信号,若故障的情况请进行更换。
下料部的Y轴、Z轴马达未动作。

原因

料盒夹持马达的电线连接是否正确?

对应方法

请确认连接料盒压板马达和控制基板的电线是否正确地连接了。

原因

保险丝没有熔断吗?

对应方法

请确认保险丝,若熔断的情况请进行更换。
UL X1基板部 F1,F2,F3,F6保险丝

晶圆传送、DIE拾取的故障

X轴、Y轴马达未动作。 无法原点复位。

原因

X轴、Y轴马达的电线连接是否正确?

对应方法

请确认连接X轴、Y轴马达和控制基板的电线是否正确地连接了。

原因

保险丝没有熔断吗?

对应方法

请确认保险丝,若熔断的情况请进行更换。
JU部 F21(Y轴)、F22(X轴)保险丝

原因

原点传感器没有故障吗?

对应方法

请通过I/O检查确认有无信号,若故障的情况请进行更换。
突上部Z轴马达未动作。 无法原点复位。

原因

Z轴马达的电线连接是否正确?

对应方法

请确认连接Z轴马达和控制基板的电线是否正确地连接了。

原因

原点传感器没有故障吗?

对应方法

请通过I/O检查确认有无信号,若故障的情况请进行更换。
突上装置未上下动作。

原因

上下动作用的电磁阀电线连接是否正确?

对应方法

请确认连接电磁阀和控制基板的电线是否正确地连接了。

原因

上下动作用的电磁阀电线连接是否正确?

对应方法

若电线正确连接了仍无法动作的情况则认为是电磁阀的故障。请更换电磁阀。

原因

气体、真空排管是否连接正确?

对应方法

请确认气体、真空排管的连接。 若有破损的情况请进行更换。
突上台的吸附及吹气动作不稳定。

原因

吸附用的电磁阀电线是否连接正确?

对应方法

请确认连接电磁阀和控制基板的电线是否正确地连接了。

原因

吸附用的电磁阀没有故障吗?

对应方法

若电线正确连接了仍无法动作的情况则认为是电磁阀的故障。请更换电磁阀。

原因

气管、真空管是否连接正确?

对应方法

请确认气管、真空管的连接。 若有破损的情况请进行更换。

原因

突上台没有污染吗?

对应方法

请参照使用说明书进行清扫。

焊接头拾取部的故障

X、Y、Z、θ轴马达未动作。 无法原点复位。

原因

X、Y、Z、θ轴马达的电线是否连接正确?

对应方法

请确认连接X、Y、Z、θ轴马达和控制基板的电线是否正确连接。

原因

原点传感器没有故障吗?

对应方法

请通过I/O检查确认有无信号,若故障的情况请进行更换。
接触检出传感器未正常动作。

原因

检测传感器的电线是否连接正确?

对应方法

请确认连接检测传感器和控制基板的电线是否正确连接。

原因

检测传感器是否安装正确?

对应方法

请参照使用说明书,再次调整位置。
Die检测传感器未正常动作。

原因

检测传感器的电线是否连接正确?

对应方法

请确认连接Die检测传感器和控制基板的电线是否正确连接。

原因

检测传感器的感知度是否调整正确?

对应方法

参照使用说明书,再次调整传感器感度。

プロセス編

工艺篇

拾取的故障

无法从晶圆拾取Die。

原因

吸嘴、顶针、吸附台的机械调整可能不妥当。

对应方法

请调整吸嘴的平坦度。
请调整顶针的高度。
请调整吸附台和吸嘴的位置,使它们中心一致。

原因

突上部和吸嘴有污染吗?

对应方法

请更换顶针。
请更换吸嘴。

原因

拾取参数可能不妥当。

对应方法

请调整顶起速度。
请调整顶针的顶起量。
请调整拾取Force。
请将拾取下沉量的设定值变大。
请再重新检测Z pick up高度。

原因

工厂的真空压力源是否过低?

对应方法

请调整真空压力值。
Die表面有伤痕。

原因

吸嘴是否污损?

对应方法

请更换吸嘴。

原因

Pick up force设定可能不妥当。

对应方法

请调整Force。
Die发生缺损。

原因

吸嘴、顶针、吸附台的机械调整可能不妥当。

对应方法

请调整吸嘴的平坦度。
请调整顶针的高度。
请调整吸附台和吸嘴的位置,使它们中心一致。

原因

突上部或吸嘴有污染吗?

对应方法

请更换顶针。
请更换吸嘴。

原因

拾取参数可能不妥当。

对应方法

请调整顶起速度。
请再重新检测Z pick up高度。
请调整拾取Force。

贴片的故障

无法将Die贴片至框架。

原因

吸嘴是否污损?

对应方法

请更换吸嘴。

原因

贴片参数可能不妥当。

对应方法

请再重新检测Z bonding高度。
请将焊接下沉量的设定值变大。
请升高搬送部设定温度值。
请确认Die的厚度,输入正确的Die厚的值。

原因

框架没有氧化吗?

对应方法

请确认混合气体的输入量。
请调整混合气体的流量。
请确认混合气体排管的连接。
如混合气体排管损坏,请更换。
发生θ旋转。

原因

吸嘴是否污损?

对应方法

请更换吸嘴。

原因

吸嘴、顶针、吸附台的机械调整可能不妥当。

对应方法

请调整顶针的高度。
请调整吸附台和吸嘴的位置,使它们中心一致。

原因

工厂的真空压力源是否过低?

对应方法

请调整真空压力值。

原因

贴片参数可能不妥当。

对应方法

请调整顶起速度。
请再重新检测Z bonding高度。
请将焊接下沉量的设定值变大。
请调整Bond Force。
请确认Die的厚度,输入正确的Die厚的值。
发生位置偏移。

原因

吸嘴是否污损?

对应方法

请更换吸嘴。

原因

吸嘴、顶针、吸附台的机械调整可能不妥当。

对应方法

请调整吸嘴的平坦度。
请调整顶针的高度。
请调整吸附台和吸嘴的位置,使它们中心一致。

原因

贴片参数可能不妥当。

对应方法

请再重新登录拾取/贴片Z高度。
请将拾取下沉量的设定值变大。
请调整Force。
请确认Die的厚度,输入正确的Die厚的值。
请调整Die检出前时间。
请调整框架检出前时间。

原因

检出(识别)可能不妥当。

对应方法

请再登录芯片检出模型。
请再登录框架检出模型。
发生装片倾斜。

原因

吸嘴、顶针、吸附台的机械调整可能不妥当。

对应方法

请调整吸嘴的平坦度。
请调整吸附台和吸嘴的位置,使它们中心一致。
如果加热块有凹凸部,请确认框架的传送位置是否正确,若不请调整传送位置。

原因

吸嘴是否污损?

对应方法

请清洗或更换吸嘴。

原因

工厂的真空压力源是否过低?

对应方法

请调整真空压力值。

原因

贴片参数可能不妥当。

对应方法

请再登录贴片Z高度。
请调整Force。
融接性差

原因

贴片参数可能不妥当。

对应方法

请升feeder温度值。
请调整吸嘴真空破坏ON的时间。
请调整吸嘴真空OFF的高度。
请增大贴片时间的设定值。
请调整增大Force。
请将贴片下沉量的设定值变大。
请确认Die的厚度,输入正确的Die厚的值。
请再登录贴片Z高度。

原因

框架没有被氧化吗?

对应方法

请确认混合气体的输入。
请增加混合气体的流量。
请确认混合气体排管的连接。
混合气体排管损坏的情况请进行更换。

传送的故障

框架氧化。

原因

混合气体流量没有不足吗?

对应方法

请增加混合气体的流量。

原因

混合气体排管的连接不良或有破损吗?

对应方法

请确认排管的连接。
若破损的情况请进行更换。
框架有伤痕。

原因

Feeder机械调整不妥当

对应方法

请调整框架夹具的位置。
请清扫框架夹具。
请确认导料部/卸料部和框架传送轨道的位置是否平行。
请确认传送抓和框架传送轨道的平行度和高度位置,若不相符请进行调整。
请拆下气体盖确认是否有相互阻碍,若有请调整气体盖位置。
超负荷报警频发。

原因

过负荷传感器的阈值可能不妥当。

对应方法

请再调整传感器的感度。

原因

传送框架的轨道是否有污染?

对应方法

请清扫传送框架的轨道。
传送精度差。

原因

传送框架的轨道是否有污染?

对应方法

请清扫传送框架的轨道。

原因

框架传送孔相对于传送抓的位置可能不妥当。

对应方法

请确认传送爪和框架传送孔的位置,若不一致的情况请调整传送爪。

原因

传送速度过快吗?

对应方法

请降低传送速度。

已终止生产的机型